2018年02月05日

旭硝子「EUV露光用フォトマスクブランクス」大幅増強

【カテゴリー】：経営 【関連企業・団体】：なし

AGC旭硝子は5日、EUV露光用フォトマスクブランクスの供給体制を強化するため、グループ会社のAGCエレクトロニクス（本社：福島県郡山市、落合克成社長）で大幅増強すると発表した。 電子回路の高機能化・小型化が進むにつれて、半導体チップの計算処理の高速化やデータの大容量化が求められている。そのためチップの回路パターンを微細化する必要があるが、現行光リソグラフィ技術では「7nm世代」と呼ばれる半導体デバイスの微細なパターの形成は理論上難しい。その中で最有力視されているのがEUV露光技術だ。 旭硝子は2003年からフォトマスクブランクス（EUVマスクブランクス）の開発に着手し、現在はガラス材料から膜材料まで一貫して手掛ける世界唯一のEUVマスクブランクスメーカー。 EUVマスクブランクスとは、低膨張ガラス基板の表面に複数の膜を積層した「フォトマスク」原版のこと。非常に小さなサイズの欠陥もゼロにする、高い平坦度であることなど、微細化に伴いEUVマスクブランクスに対する要求水準も厳しくなっている。AGCエレクトロニクスは今年中にも市場ニーズに応えて増強に着手する。