2018年11月28日

AGC、EUV露光用フォトマスクブランクス追加増強

【カテゴリー】：経営 【関連企業・団体】：旭硝子

AGCは28日、グループ会社のAGCエレクトロニクス（本社：福島県郡山市、佐藤弘昌社長）でEUV露光用フォトマスクブランクスの供給体制増強を追加実施すると発表した。今年2月5日にも増強を発表したが、さらに追加して実施する。グループのEUVマスクブランクス生産能力は、2020年には現有設備の3倍に拡大する。 IoT時代を迎えて電子機器が小型・高性能し、半導体チップにもデータの大容量化、高集積化が求められる。これに対応するためには、半導体チップの回路パターンを微細にする必要があるが、現行の光リソグラフィ技術では理論上からも難しく、それに代わる技術としてEUV露光技術が最有力視されている。 AGCは、今後のEUV露光技術の拡大を見据えてEUVマスクブランクスの供給体制増強を決めた。 ニュースリリース参照 http://www.chem-t.com/fax/images/tmp_file1_1543378283.pdf