2011年09月26日

NIMS、従来の10倍以上の超高速で形成する有機導電材料を開発

【カテゴリー】：新製品/新技術 【関連企業・団体】：なし

物質・材料研究機構（NIMS）は、既存の技術に比べて10倍以上の成長速度で形成可能なエレクトロニクス用導電性配線材料の開発に成功した。次世代積層デバイスにおける3次元立体配線の低コスト化につながると期待される。 エレクトロニクス分野では、多層配線と縦方向の配線をいかに作製するかが課題になっている。また、フレキシブルデバイスでも高集積化に伴う多層配線の必要性がでてきており、新しい高導電性配線材料が求められている。しかし、既存の金属を使う配線作製技術では、形成に数時間を要することがあり、エレクトロニクス構成部品のコストが高くなる要因になっている。 今回NIMSでは、導電性有機ポリマーと金属で構成される高導電性配線材料を既存技術の10倍以上の速度で溶液中から形成することに成功した。これは、導電性有機ポリマーの重合反応と金属の析出反応とを、光アシスト効果によって同時に促進することを可能にしたことで実現した。 この成果により、液体状態での原料の高速注入とその後の導電材料の高速形成が可能となり、次世代エレクトロニクス技術の一つである3次元半導体におけるTSV(シリコン貫通電極)の充填時間が、従来の数時間から数分に短縮されることが期待される。