2016年09月02日

産総研、フッ素ガスのみに反応する検知技術を開発

【カテゴリー】：新製品/新技術 【関連企業・団体】：産業技術総合研究所

産業技術総合研究所は2日、ナノ材料研究部門の中村徹主任研究員らがエッチング用のフッ素系ガス成分を選択的かつ高感度に検知できる検知剤を開発、また開発した検知剤を搭載したコンパクトな漏洩検知器を試作したと発表した。単結合のみからなるパーフルオロカーボンなど冷媒用のフッ素系液体の蒸気には応答しないため、冷媒を 交換する際などに誤報を発することがない。今後、生体への影響が懸念される他のハロゲン系ガスの漏洩検知への展開も期待できるとしている。