2016年12月12日

サクラクレパス、半導体用プラズマ評価ツール商品化

【カテゴリー】：新製品/新技術 【関連企業・団体】：なし

NEDO（新エネルギー・産業技術総合開発機構）は12日、サクラクレパス（本社：大阪市中央区、西村彦四郎社長）がNEDOプロジェクトの成果をもとに、プラズマ処理効果を簡便に可視化する新たな半導体製造装置用評価ツール、プラズマインジケータPLAZMARK「ウエハ型」（セラミックスタイプ）を開発し、2017年1月に商品化すると発表した。 「ウエハ形状を」実現したため、これまでよりも簡便に半導体製造装置の状態を評価することが可能となった。今後、LEDやMEMS、タイミングデバイス等の各種電子デバイス向けの半導体製造装置市場での採用を目指す。 今回開発したプラズマインジケータPLAZMARK「ウエハ型」（セラミックスタイプ）は、ウエハ形状を実現したため、ユーザーは普段使っているウエハと同じハンドリングで、装置の状態を簡便に評価することができ、半導体製造装置稼働率の向上、装置間の機差（1台1台の装置の性能の差）解消に貢献できる。 同社は2017年1月からサンプル出荷を開始し、変色性能のチューニングを実施したうえで、2017年4月から本格的な量産体制に移行する予定だ。