2019年05月31日

三井化学、ASMLとEUVペリクル事業のライセンス契約締結

【カテゴリー】：経営 【関連企業・団体】：三井化学

三井化学は31日、半導体リソグラフィー分野で世界ナンバーワンのASML社と、EUVペリクル事業のライセンス契約を締結したと発表した。三井化学は同製品の生産設備を新設、世界に先駆けてEUVペリクルを商業化するものであり、両社は世界市場でEUVペリクルを通じた両社の事業拡大と次世代製品の開発を進める方針である。 今回、三井化学はASML社からEUVペリクルに関するライセンスを受けることで、EUVペリクルの生産権及び生産販売権を取得する。同社が高品質のEUVぺクリルを市場に供給することで、EUVペクリル露光技術の普及にも貢献し、急速な拡大が期待される今後の半導体需要に対応する。新たな設備は、岩国大竹工場内に建設、2020年第2四半期に完工予定である。 ニュースリリース参照 ・三井化学グループ、ASMLとEUVペリクル事業のライセンス契約を締結 https://www.chem-t.com/fax/images/tmp_file3_1559268985.pdf ・ASML and Mitsui Chemicals Sign License Agreement for EUV pellicle business https://www.chem-t.com/fax/images/tmp_file4_1559268985.pdf