2020年04月22日

住友化学、大阪工場に半導体フォトレジスト新棟

【カテゴリー】：経営 【関連企業・団体】：住友化学

住友化学は22日、大阪工場（大阪市此花区）に半導体フォトレジストの開発・評価を行う新棟を建設すると発表した。EUV（極端紫外線）をはじめとした、最先端プロセス開発のための新規評価装置を導入する。3階建てで、クーリングルームなどを設置。2022年度上期の完成をめざす。 　フォトレジストは、半導体製造工程でパターン形成に使用される感光性樹脂。同社はこれまで高機能フォトレジストの原料をはじめ製造・研究・販売など一連の設備を大阪工場に集約し事業拡大してきた。 　2019年度には、世界的に高いシェアを有する液浸ArF（フッ化アルゴン）露光向けフォトレジストの新プラントを同工場に完成し生産能力を増強した。 　半導体市場は今後、人工知能（AI）技術の進化や次世代通信システム（5G）の本格商用化などを背景にさらなる需要の伸長が期待されている。こうした領域では新しい光源であるEUV露光が主流になると見られ、そのパターン形成には微細化に適したフォトレジストが求められる。同社はこれまでの豊富な実績と知見を生かし、独自コンセプトに基づく材料設計によって、EUVレジストの大幅な性能の向上を実現してきた。 　新棟に新たな露光機を導入し、EUVレジストなどの開発効率を向上させる。顧客へのレスポンスを加速するとともに、品質保証体制を強化する。今後の事業拡大を視野にさらなる投資も検討していく方針だ。 　 　 ニュースリリース https://www.chem-t.com/fax/images/tmp_file1_1587518623.pdf 住友化学大阪工場全景