2022年11月25日
昭電の半導体研磨材料増産計画、茨城県が補助金
【カテゴリー】:経営
【関連企業・団体】:昭和電工

 昭和電工マテリアルズ(髙橋 秀仁社長)は24日、山崎事業所 勝田サイト(茨城県ひたちなか市)で半導体集積回路向けの平坦化用研磨材料「CMP スラリー」の設備投資を計画中だと発表した。先に茨城県が創設した、次世代産業集積・カーボンニュートラル強化プロジェクト事業補助金の対象事業に認定された。

  CMP スラリーは、半導体メモリーおよび半導体ロジックの製造に不可欠な材料で、半導体需要の増加や高性能化に伴い市場は高成長を続けている。同社は CMP スラリーで世界 2 位のシェアを有し、中でも独自の微粒子合成技術で開発した微細な砥粒を用いた「ナノセリアスラリー」等のセリアスラリーは、世界トップシェアを占めている。

 山崎事業所 勝田サイトでは、従来のセリアスラリーに比べて、さらなる高研磨速度と研磨平坦性の両立を可能にしたセリアスラリーなどの能力増強を計画している。今回、同計画が最先端の半導体材料の設備増強であることが評価され、茨城県の次世代産業に対する補助金の対象事業に認定された。
 
 昭和電工グループは「共創型化学会社」として、グローバル社会の持続可能な発展への貢献を目指し、CMP スラリー事業を含むエレクトロニクス事業をコア成長事業と位置付けており、今後も成長が見込まれる最先端の半導体材料の生産および開発を強化し、グローバルトップシェア事業を拡大していく方針だ。
 
ニュースリリース
https://www.chem-t.com/fax/images/tmp_file1_1669289930.pdf