2025年09月05日
名大など、半導体CISノイズを70%低減、実証
【カテゴリー】:新製品/新技術(ファインケミカル)
【関連企業・団体】:名古屋大学

 名古屋大学発スタートアップのアイクリスタル(本社:名古屋市千種区、髙石将輝代表取締役)とグローバルウェーハズ・ジャパン、名古屋大学 未来材料・システム研究所、ソニーセミコンダクタマニュファクチャリング5者によるの研究グループは5日、仮想空間上に構築したデジタルツインを接続して高速に最適化するプロセス全体最適化プラットフォーム「メタファクトリー」を用いて Si ウェーハ製造から CMOS イメージセンサー(CIS)製造まで合計 30 工程を一気通貫で最適化し、実ラインでの試作で従来品比約70%のノイズ特性改善に成功と発表した。
 研究グループは今回、デジタルツインを用いて製造プロセス全体を最適化する新なプラットフォーム「「メタファクトリー」の構築を目指した技術開発と、その有効性を検証する実ライン試作を行った。
 
ニュースリリース参照
https://www.nagoya-u.ac.jp/researchinfo/result/upload_images/20250905_imass.pdf