2025年10月31日

ＡＤＥＫＡ 次世代EUVリソグラフィ向け新プラントを建設

【カテゴリー】：経営 【関連企業・団体】：ADEKA

ＡＤＥＫＡ（本社：東京都荒川区、城詰秀尊社長）は31日、鹿島化学品工場（茨城県神栖市）に次世代EUVリソグラフィ（高NA EUV）向けMOR用金属化合物のプラント新設すると発表した。 ＡＤＥＫＡグループは、先端半導体メモリ向け高誘電材料（ALD材料）や、CARで使用されるEUV、ArF露光向け光酸発生剤など、数多くの先端材料で半導体の高性能化に貢献している。2026年1月には、久喜開発研究所（埼玉県久喜市）内に新研究棟が完成し、ALD材料とCARおよびMOR向け材料の開発体制を強化していく考えだ。 ＜ニュースリリース参照＞ https://www.chem-t.com/fax/images/tmp_file1_1761883211.pdf