2026年04月17日

東京エレクト、デバイスプローバ Prexa SDP発売

【カテゴリー】：新製品/新技術 【関連企業・団体】：東京エレクトロン

半導体商社の東京エレクトロン（本社：東京都港区、河合利樹社長）は17日、デバイスのテストニーズに対応したデバイスプローバ「 Prexa SDP 」を発売したと発表した。 　HPC /AI向け半導体製品では、加速するコンピューティング需要を支えるために、複数のデバイスを組み合わせた最先端の2.5D/3Dパッケージング技術が求められている。これらの製品は、最終歩留まり向上のために、パッケージング前の個片化デバイスでのKGD 選別が重要となる。 　「Prexa SDP」は、従来製品のPrexaをはじめとするウェーハプローバで培った多様なアプリケーションと信頼性の高いプラットフォームに、独自開発の高発熱デバイス向け温度制御技術を取り入れた個片化デバイステスト装置で、ウェーハプローバの高精度コンタクト、ウェーハ搬送、プローブカードの針跡検査機能などの技術を導入した。確実なデバイス搬送と正確なKGDの選別を実現することができる。 ニュースリリース https://www.chem-t.com/fax/images/tmp_file1_1776321572.pdf