2026年06月08日

富士フイルム 圧力測定フィルム「円形プレスケール」新発売

【カテゴリー】：経営（新製品/新技術） 【関連企業・団体】：富士フイルム

富士フイルムは8日、圧力測定フィルム「プレスケール」の新ラインアップとして、半導体製造工程における圧力検査向けに、ウエハー形状に合わせた円形タイプ「円形プレスケール」を2026年6月8日より発売すると発表した。 「プレスケール」は、接触した物同士の圧力や面圧のバランス・分布を可視化できるフィルムで、同社はグローバル市場シェアトップ。半導体分野では製造プロセスの高度化に伴い、工程内での圧力検査の重要性が増している。特に、AIや次世代通信の普及を背景に半導体の微細化・積層化が進む中、ウエハーやチップを接合する「ウエハーボンディング」工程において、接合の精度や安定性に対する要求が高度化している。 わずかな圧力のばらつきが半導体の性能に影響することから、接合時の圧力状態を高精度に検査したいというニーズが高まり、半導体の製造で現在主流の12インチ（φ300mm）ウエハー形状に合わせて設計した圧力測定フィルム「円形プレスケール」を発売する。 ニュースリリース https://www.chem-t.com/fax/images/tmp_file1_1780895029.pdf