2002年10月30日

日商岩井の子会社、米社から「成膜装置」の独占販売権取得

【カテゴリー】：新製品/新技術 【関連企業・団体】：なし

日商岩井は30日、100%子会社の日商岩井メカトロニクス社が、米国プライマックス社から 液相式ミスト成膜装置(LSMCD)と、渦流型CVD装置の日本、韓国、台湾での独占販売権を取得したと発表した。 　同装置は、プライマックス社と半導体プロセスのSymetrix社(米国)との共同特許を基本とした新技術(LSMCDの微細ミスト化技術)により開発された。　　 (1)夢のメモリーと言われる FeRAM,MRAM の製造に不可欠な SBT、BST、HfSiなどの特殊金属層を効率良く成膜することができ、すでに日本国内に7台の稼働実績を持っている。 (2)チップの小型化に伴うゲート膜 の形成にも使用でき、内外半導体メーカーの生産計画にも影響を与えることが予想される。 (3)液晶などの光学用途にも採用が検討されており、代表的なITO成膜では具体的なプロジェクトが進行している、などの特徴がある。 　FeRAM,MRAMは、銀行カード、個人認証カードなどのICカードに対応できることから、現在のフラッシュメモリー、EEPROM等の代替メモリーとして期待されており、日商岩井メカトロニクスでは、初年度10億円、3年目には 30億円の装置売上げを目標にしている。 　 ニュースリリース参照 http://www.chem-t.com/cgi-bin/fax/search.cgi?CODE=338